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设计特点
· 热式原理
· 一体化设计
· 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
· 响应时间不超过 2 秒钟
· 操作压力可达 20MPa
· 对安装位置不敏感
· 316SS 材质,允许测量腐蚀性气体
· 无直管段要求
· 单电源供电

技术参数

流量范围 :从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具体请参考表一
响应时间 : 1 ~ 2 秒
精 度 : ± 1% 满量程(除 114 型); ± 1.5% 满量程( 114 型)
再 现 性 : ± 0.2% 满量程
量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 满量程)
环境和操作温度 : -10 ~ 70 ℃
最大操作压力 : 3000PSIG ( 20MPa ) ,具体请参考表一
零点漂移:± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移: ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移: 0.1%/atm (相对于 N 2 )
安装方向: 对位置不敏感
预热时间: 10 分钟
电气连接: 卡式( 20 针)或 D 型( 9 针)
流量信号输出:
0-5VDC (最小负载电阻 2K Ω );
0-10VDC (最小负载电阻 3K Ω );
1-5VDC (最小负载电阻 2K Ω );
4-20mA (请参考下面的说明);
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻:
环路电压为 6.5-15VDC 时: 0-450 Ω
环路电压为 15-30VDC 时: 200-750Ω
供应电源 :
电压输出:+ 12( ± 5 % ) (仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出)或 +15( ± 10 % )VDC
电流输出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC
电流消耗:< 45mAdc
重 量 :请参考表一

结构材质
主 体: 316SS
传感器组件 : 316LSS
密封材质(” O ”型环): Buna N , EPDM , Kalrez ? , Neoprene , Viton?
过程连接: 316SS

表 一

型 号

流量范围( N 2 标定)
最小 / 最大

最大操作压力 PSIG ( MPa )

重 量 lbs ( Kg )

111

0-5SCCM/0-10SLPM

1500 ( 10.3 )

0.9 ( 0.41 )

112

0-10SLPM/0-100SLPM

1500 ( 10.3 )

2.1 ( 0.95 )

113

0- 100SLPM /0-500SLPM

1500 ( 10.3 )

5.2 ( 2.4 )

114

0-500SLPM/0-1000SLPM

1500 ( 10.3 )

6.6 ( 3.0 )

121

0-5SCCM/0-10SLPM

3000 ( 20.7 )

0.9 ( 0.41 )

122

0-10SLPM/0-100SLPM

3000 ( 20.7 )

2.1 ( 0.95 )

123

0-100SLPM/0-500SLPM

3000 ( 20.7 )

10.8 ( 4.9 )


订货时须提供以下信息:
1 、产品型号
2 、电气接口
3 、流量信号输出
4 、密封材质(阀座 / ” O ”型环)
5 、接口尺寸和类型
6 、流量范围
7 、介质(气体类型)
8 、工作温度
9 、入口压力 P1
10 、出口压力 P2
11 、标定温度(如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ )
12 、其它要求

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